近日,技術(shù)中心《鉬鎳系合金產(chǎn)品的研發(fā)與應(yīng)用》科研團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)不懈地探索研究及試驗(yàn)分析,突破了管狀鉬鎳靶材的關(guān)鍵技術(shù),成功試制出管狀鉬鎳靶材成品。
管狀靶材相比板狀靶材由于有著利用率高、濺射面積大、成膜效果好、可控性強(qiáng)等特點(diǎn)而倍受客戶(hù)青睞,逐步成為市場(chǎng)的主流方向。鉬鎳靶材在陶瓷金屬化領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,是解決金屬-陶瓷封接問(wèn)題的理想技術(shù)之一。
鉬鎳合金硬度高、脆性大、難以壓力加工成型。技術(shù)中心前期已經(jīng)攻克了板狀鉬鎳靶材的技術(shù)難題。此次面對(duì)客戶(hù)管狀鉬鎳靶材的技術(shù)指標(biāo)要求,在前期技術(shù)積累的基礎(chǔ)上,結(jié)合管狀靶材的特性進(jìn)行了針對(duì)性的技術(shù)攻關(guān),成功試制出了直徑120-180 mm、壁厚10-15 mm、單支長(zhǎng)度400 mm以上的管狀鉬鎳成品,各項(xiàng)理化指標(biāo)達(dá)到要求。
管狀鉬鎳靶材的試制成功,標(biāo)志著科研團(tuán)隊(duì)已完全掌握了板狀和管狀兩類(lèi)市場(chǎng)需求的鉬鎳靶材的制備技術(shù),在拓寬公司產(chǎn)品種類(lèi)的同時(shí),也為進(jìn)一步量產(chǎn)化奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。